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技術(shù)支持：010-69736177
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Product classification
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產(chǎn)品名稱：MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計
發(fā)布時間：2023-12-22
產(chǎn)品型號：MS/MCS型
產(chǎn)品特點：MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計可精、快速測量腐蝕性氣 體(如：NH3、H2S、SiH4 等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和 溫度。MCS 系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥 還可精控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力?？蓽y量 130 多種氣體的質(zhì)量和體積流量，其中包括 32 種腐蝕性氣體。
MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計產(chǎn)品介紹：
MS/MCS 系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。 所有 Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準 證書。
MS/MCS 系列質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置 130/128 種標準氣體供 選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設(shè)定值輸入及 PID 閥門 調(diào)節(jié)。MS/MCS 系列設(shè)備支持標準的模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國)1 類 2 區(qū)認證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS 系 列)質(zhì)量流量計可選。
為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的首肯，如：半導體行業(yè) 等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及 100:1 量程可調(diào)比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質(zhì)量流量控制器 便可取代多臺設(shè)備的功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時間很大程度優(yōu) 化了氣體控制過程。
MS/MCS 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。
可測量 130 多種氣體的質(zhì)量和體積流量，其中包括 32 種腐蝕性氣體。
技術(shù)參數(shù)：
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
精度(調(diào)零后標準條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調(diào)零后標準條件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備
精度(雙向流量型號)(調(diào)零后標準條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負滿量程到正滿量程
重復性: ±0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm
工作范圍 / 量程可調(diào)比: 1% ~ 100 F.S / 100:1
很大可測流量: 128% F.S
典型響應(yīng)時間 :10 毫秒(可調(diào)整)
啟動預熱時間 :< 1 秒
標準工況 (STP): 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
工作溫度: ?10 ~ +50 oC
工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ～ 100
內(nèi)部很大工作壓力(靜壓) :145 psig
設(shè)備允許通過的很大瞬時壓差 (入口壓力－出口壓力): 75 psid
很限壓力 175 psig
對安裝方式/方向的要求: 無
防護等級: IP40
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